Vrstični elektronski mikroskop z energijskim spektrometrom (SEM/EDS)
V začetku leta 2008 smo na Geološkem zavodu Slovenije pridobili novo analizno napravo, ki omogoča proučevanje oblike površine ter kvalitativno in semi-kvantitativno kemično mikroanalizo materialov. To je vrstični elektronski mikroskop (SEM) z energijsko disperzijskim spektrometrom rentgenskih žarkov (EDS).
Zgradba in princip delovanja SEM/EDS:
SEM/EDS je sestavljen iz vakuumske komore z vzorcem, stolpa z izvorom elektronov, elektromagnetnimi lečami in odklonskimi tuljavami ter detektorjev signalov (SE, BSE, EDS).
Pri interakciji izostrenega snopa elektronov, ki se premika po vzorcu, in atomov v vzorcu nastanejo različni signali, kot so sekundarni elektroni(SE), povratno sipani elektroni(BSE) in RTG-žarki, ki dajejo različne informacije o vzorcu:
- SE dajejo sliko površine vzorca
- BSE so odvisni od atomskega števila elementov v vzorcu in dajejo sliko relativne kemijske sestave vzorca.
- RTG-žarki dajejo informacije o elementarni sestavi vzorca.
Aplikacije SEM/EDS na Geološkem zavodu Slovenije uporabljamo na različnih področjih geologije.