Vrstični elektronski mikroskop z energijsko disperzijskim spektrometrom (SEM/EDS)

Odgovorna oseba Ta e-poštni naslov je zaščiten proti smetenju. Za ogled potrebujete Javascript, da si jo ogledate.
Leto nabave/nadgradnje 2008


Opis opreme

Celoten sistem sestavljajo:

  • SEM (JEOL JSM 6490LV): vakuumska komora za vzorec, stolp z izvorom elektronov (W katoda), elektromagnetne leče in odklonske tuljave ter detektorji signalov (SE, BSE),
  • EDS (INCA PentaFETx3 detektor in INCA Energy 350 mikroanalizni sistem),
  • Sistem za pripravo vzorcev Baltec SCD 050.

Princip delovanja SEM/EDS:

Pri interakciji izostrenega snopa elektronov, ki se premika po vzorcu, in atomov v vzorcu nastanejo različni signali, kot so sekundarni elektroni(SE), povratno sipani elektroni(BSE) in RTG-žarki, ki dajejo različne informacije o vzorcu:

  • SE dajejo sliko površine vzorca,
  • BSE so odvisni od atomskega števila elementov v vzorcu in dajejo sliko relativne kemijske sestave vzorca,
  • RTG-žarki dajejo informacije o elementni sestavi vzorca.

Pripravi vzorcev pred analizo je namenjen sistem Baltec SCD 050 za naprševanje z zlatom in naparevanje z ogljikom.

Tehnični podatki:

  • ločljivost: visoki vakuum: 3,0 nm (30 kV), 8,0 nm (3 kV), 15 nm (1 kV); nizki vakuum: 4,0 nm (30 kV),
  • povečava: ×5 - ×300.000,
  • pospeševalna napetost: 0,3 kV - 30 kV,
  • premik mizice za vzorce: X: 125 mm, Y: 100 mm, Z: 5 mm – 80 mm, nagib: −10° - +90°, vrtenje: 360°,
  • tlak v nizko vakuumskem načinu: 1 - 270 Pa,
  • EDS detektor: Si(Li), 30 mm2 površina detektorja, ločljivost 133 eV pri MnKa, ultra tanko polimerno okno (ATW2) detektorja.

Uporaba/projekti/članki

SEM/EDS na Geološkem zavodu Slovenije uporabljamo na različnih področjih geologije pa tudi za druge aplikacije:

  • paleontološke preiskave,
  • sedimentno-petrološke preiskave,
  • preiskave premogov,
  • mineraloške preiskave materialov,
  • geokemične raziskave medijev okolja,
  • druge aplikacije: analize sintetičnih vlaken, arheoloških artefaktov.

Najem opreme

Snemanje in meritve na SEM/EDS izvajajo izkušeni in šolani operaterji GeoZS po predhodnem dogovoru s skrbnikom tudi za zunanje naročnike in v sodelovanju z uporabniki storitev.